特許詳細

出願番号	2007-023795
登録番号	4910144
国際特許分類	H05B 33/10, H01L 51/50
発明名称	有機ＥＬ材料薄膜の形成および装置
出願人又は権利者	富山大学
研究者	岡田 裕之
研究分野	製造デバイス
用途	製造技術 有機EL
要約 課題	面積ディスプレイや面光源等の有機EL素子用の膜厚均一な大面積有機材料塗布方法及び装置を提供する。
要約 解決手段	本発明は、溶液化された有機ＥＬ材料をスジむらやフォトルミネセンスむらが無く 均一で、極薄膜と言われる100nm±2nmの膜厚を得るため、溶液化された有機ＥＬ材料を含ませたローラー等の塗布装置に振動装置を利用して上下又は左右に振動させ、被塗布試料を載せたステージを必要塗布料に応じて塗布装置に対してスイープさせることで、溶液化された有機ＥＬ材料を含ませたローラー等の塗布装置に被塗布試料を圧着させながら均一に有機ＥＬ材料を塗布させる方法を提供する。
問い合わせ先	富山大学 研究推進機構　学術研究・産学連携本部 076-445-6392
更新日	2019/07/23