特許詳細

出願番号	2002-086992
登録番号	3723845
国際特許分類	G01B 11/06, H05B 33/10
発明名称	有機エレクトロルミネッセンス素子に使用される有機薄膜の膜厚測定法および測定装置
出願人又は権利者	富山大学
研究者	岡田 裕之
研究分野	計測デバイス
用途	測定・計測 有機EL デバイス装置
要約 課題	透明基板上に形成された有機薄膜の膜厚分布を測定する。
要約 解決手段	有機エレクトロルミネッセンス素子（１６）に用いられる有機薄膜（１６１）の相対的膜厚分布を測定する方法であって、有機薄膜の所定の領域に紫外光（１３）を含む光を照射し、有機薄膜が光照射の応じて生成する蛍光（１４）の強度を測定し、蛍光の強度から所定の領域の膜厚を求め、有機薄膜の各領域の膜厚から有機薄膜の膜厚の分布を測定する膜厚分布測定方法。そして、有機エレクトロルミネッセンス素子（１６）に用いられる有機薄膜（１６１）の相対的膜厚分布を測定する装置であって、有機薄膜の所定の領域に紫外光（１３）を含む光を照射する手段（１１）と、有機薄膜が生成する蛍光の強度を測定する手段（１２）と、蛍光の強度から所定の領域の膜厚を求める手段（２０）とを有し、有機薄膜の各領域の膜厚から有機薄膜の膜厚の分布を求める膜厚分布測定装置。
問い合わせ先	富山大学 研究推進機構　学術研究・産学連携本部 076-445-6392
更新日	2017/12/01