特許詳細

出願番号	2006-187105
登録番号	4910132
国際特許分類	G01R 29/24,
発明名称	表面電荷量計測装置及び表面電荷量計測方法
出願人又は権利者	富山大学
研究者	篠原 寛明
研究分野	計測
用途	測定・計測 イメージ処理
要約 課題	試料の表面における電荷量を簡便に計測することが可能な表面電荷量計測装置及び表面電荷量計測方法を提供すること。
要約 解決手段	表面上方を浮遊するプローブ粒子Ｐを用いて試料２１の表面２１ａでの電荷量を計測する表面電荷量計測装置１Ａであって、光源２と、プローブ粒子Ｐの像（プローブ像）を得る結像光学系３と、プローブ像を撮像してプローブ画像を得る撮像装置４と、プローブ画像からプローブ粒子Ｐの位置分布を取得し、当該位置分布から試料２１の表面２１ａでの電荷量を計測する画像処理装置１０とを備える。画像処理装置１０は、予め格納されたプローブ画像におけるプローブ粒子Ｐの大きさを規定する値である直径とプローブ粒子Ｐの試料Ｓ表面からの距離との関係を示す校正データと撮像装置４によって撮像されたプローブ粒子Ｐの直径とに基づいて、プローブ粒子Ｐの位置分布を得る。
問い合わせ先	富山大学 研究推進機構　学術研究・産学連携本部 076-445-6392
更新日	2017/12/01