特許詳細

出願番号	2006-187102
登録番号	4910131
国際特許分類	G02B 21/00,
発明名称	表面情報取得装置及び表面情報取得方法
出願人又は権利者	富山大学
研究者	伊藤 研策
研究分野	計測デバイス
用途	測定・計測 イメージ処理 光技術
要約 課題	試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供すること。
要約 解決手段	表面から所定距離離れて浮遊するプローブ粒子Ｐを用いて試料Ｓの表面情報を取得する表面情報取得装置１Ａであって、光源２と、プローブ粒子Ｐの像（プローブ像）を得る結像装置３と、プローブ像を撮像してプローブ画像を得る撮像装置４と、プローブ画像からプローブ粒子Ｐの位置情報を取得し、当該位置情報から試料Ｓの表面情報を取得する画像処理装置１０とを備える。画像処理装置１０は、予め格納されたプローブ画像におけるプローブ粒子Ｐの大きさを規定する値である直径とプローブ粒子Ｐの試料Ｓ表面からの距離との関係を示す校正データと撮像装置４によって撮像されたプローブ粒子Ｐの直径とに基づいて、プローブ粒子Ｐの位置情報を得る。
問い合わせ先	富山大学 研究推進機構　学術研究・産学連携本部 076-445-6392
更新日	2017/12/01