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特許詳細
出願番号 特願2016-111842
登録番号 特許第6678992号
国際特許分類 G01L 1/18 (2006.01), G01L 9/00 (2006.01), H01L 41/113 (2006.01), H01L 41/193 (2006.01), H01L 29/786 (2006.01)
発明名称 圧力センサ
出願人又は権利者 JAIST
研究者 村田 英幸 
研究分野 計測デバイス
用途 センサー
測定・計測
有機EL
要約 課題 有機圧力センサには駆動電圧の低減と高感度化とが求められている。特に高感度化は、有機圧力センサの用途拡大と実用化促進に避けて通れない課題となっている。そこで本発明は、高感度化の実現に適した新規な有機圧力センサ、特に低電圧で駆動させても高感度で圧力を検出できる新規な有機圧力センサ、を提供することを目的とする。
要約 解決手段 本発明は、その第1態様として、
ゲート電極、ゲート絶縁膜、及び有機半導体層がこの順に積層された積層体を有する有機電界効果トランジスタと、
有機圧電体層を有し、前記有機半導体層から見て前記ゲート絶縁膜と反対側に配置された感圧部と、
前記ゲート電極にゲート電圧Vgを印加するために前記ゲート電極に接続された電源と、を備え、
検出するべき圧力が前記感圧部に印加されて前記有機圧電体層がその厚さ方向に圧縮されることにより前記感圧部に蓄積される前記有機半導体層に最も近い電荷が前記ゲート電圧Vgと正負の符号が逆になるように、前記有機圧電体層に含まれる有機圧電体が分極処理されている
圧力センサ、を提供する。
問い合わせ先 JAIST
産学官連携推進センター
0761-51-1070
JAIST産学官連携推進センター
更新日 2020/05/20