特許詳細

出願番号	2016-212976
登録番号
国際特許分類	G02B 26/10、G02B 26/08、B81B 3/00、B81C 1/00
発明名称	２次元光走査ミラー装置、その製造方法、２次元光走査装置及び画像投影装置
出願人又は権利者	福井大学
研究者	勝山　俊夫
研究分野	情報･通信製造デバイス
用途	製造技術 光技術 デバイス装置
要約 課題	【課題】２次元光走査ミラー装置、その製造方法、２次元光走査装置及び画像投影装置に関し、ミラー可動部の構造を単純化し、且つ、小型化する。
要約 解決手段	【解決手段】基板上に２次元走査可能に支持された可動ミラー部を設け、前記可動ミラー部に膜平面方向に磁化方向を有する硬質磁性薄膜を設けるとともに、前記可動ミラー部を駆動する交流磁場発生装置を少なくとも含む磁場発生装置を設け、前記硬質磁性薄膜の保磁力に対する前記磁場発生装置が発生する磁場の比を０．２以下とする。【選択図】図１
問い合わせ先	福井大学 産学官連携本部 0776-27-8956
更新日	2021/01/21