特許詳細

出願番号	2017-095597
登録番号
国際特許分類	B01J 19/08,H05H 1/24
発明名称	プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
出願人又は権利者	金沢大学
研究者
研究分野	デバイス
用途	プラズマ
要約 課題	プラズマにより粉粒体を処理し、かつ処理効率および信頼性に優れたプラズマ処理装置を提供すること。
要約 解決手段	プラズマ処理装置１０は、誘電体で構成され、粉粒体を保持する反応容器１０と、反応容器１０に設けられた第１電極および第２電極としての電極２１、２２と、反応容器１０の内面に沿って前記内面との間に空隙３１～３４を保って回転可能な導電性の攪拌羽根４１、４２と、攪拌羽根４１、４２を回転させるモーター５０と、電極２１、２２間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源６０と、を備える。
問い合わせ先	金沢大学 先端科学・イノベーション推進機構 076-264-6111
更新日	2019/11/11