特許詳細

出願番号	2016-188803
登録番号
国際特許分類	G01Q 10/04,G01Q 60/44
発明名称	走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法
出願人又は権利者	金沢大学
研究者
研究分野	計測
用途	走査プローブ 制御
要約 課題	連続撮影モードにおいて、従来よりも短い測定時間で画像化を繰り返すことが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
要約 解決手段	走査型プローブ顕微鏡１０は、プローブ１１と、ＸＹスキャナ１２と、Ｚスキャナ１３と、ＸＹスキャナ１２及びＺスキャナ１３を制御することによって試料２２の表面における立体形状を画像化する制御部１９とを備える。制御部１９は、画像化を繰り返す連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて、次の画像化のためのプローブ１１の走査及びプローブ１１のＺ軸方向の駆動の少なくとも一方に関する走査条件を決定し、決定した走査条件に従ってＸＹスキャナ１２及びＺスキャナ１３を制御することで次の画像化を行うことを繰り返す。
問い合わせ先	金沢大学 先端科学・イノベーション推進機構 076-264-6111
更新日	2018/11/07