特許詳細

出願番号	2016-234584
登録番号
国際特許分類	G01Q 10/06,G01Q 10/04,G01Q 60/24
発明名称	走査型プローブ顕微鏡
出願人又は権利者	金沢大学
研究者
研究分野	計測
用途	走査プローブ
要約 課題	観測画像に歪みが生じるのを抑制することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
要約 解決手段	観測試料２０を載置する試料ステージ２２と、観測試料２０の表面状態または動態を観測する探針１０と、試料ステージ２２を駆動するスキャナ２４と、スキャナ２４の動作を制御するコンピュータ３５とを備え、コンピュータ３５は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧をスキャナ２４に印加し、走査電圧は、振幅の増加開始直後の第１の期間における振幅の増加の加速度が正の値である。
問い合わせ先	金沢大学 先端科学・イノベーション推進機構 076-264-6111
更新日	2018/11/07