しらさぎプロジェクト大学開放特許データベース(単願&発明者検索)

特許詳細
出願番号 2016-234584
登録番号
国際特許分類 G01Q 10/06,G01Q 10/04,G01Q 60/24
発明名称 走査型プローブ顕微鏡
出願人又は権利者 金沢大学
研究者
研究分野 計測
用途 走査プローブ
要約 課題 観測画像に歪みが生じるのを抑制することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
要約 解決手段 観測試料20を載置する試料ステージ22と、観測試料20の表面状態または動態を観測する探針10と、試料ステージ22を駆動するスキャナ24と、スキャナ24の動作を制御するコンピュータ35とを備え、コンピュータ35は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧をスキャナ24に印加し、走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である。
問い合わせ先 金沢大学
先端科学・イノベーション推進機構
076-264-6111
金沢大学先端科学・イノベーション推進機構
更新日 2018/11/07