特許詳細

出願番号	PCT/JP2016/084534
登録番号
国際特許分類	G01Q 10/04
発明名称	プローブ走査機構、プローブ装置および走査型プローブ顕微鏡
出願人又は権利者	金沢大学
研究者
研究分野	計測
用途	走査プローブ
要約 課題	プローブ走査機構（１０）は、プローブ（２０）の長尺方向と同一の方向の両端を貫通する第１の貫通孔（１５ａ）を有し、第１の貫通孔（１５ａ）に挿入されたプローブ（２０）をプローブ（２０）の長尺方向に走査する圧電素子（１５）と、圧電素子（１５）を収容する筐体（１１）と、筐体（１１）の一端および他端にそれぞれ固定され圧電素子（１５）を挟んで筐体（１１）に支持する一対の支持部材（１２ａ、１２ｂ）と、一対の支持部材（１２ａ、１２ｂ）の一方を圧電素子（１５）の伸縮軸方向の一端に固定し他方を圧電素子（１５）の伸縮軸方向の他端に固定する固定部材（１４）と、少なくともプローブ（２０）の先端側において、プローブ（２０）を第１の貫通孔（１５ａ）の内部に保持する保持部材（１６）とを備える。
要約 解決手段
問い合わせ先	金沢大学 先端科学・イノベーション推進機構 076-264-6111
更新日	2017/12/01