特許詳細

出願番号	2015-047519
登録番号
国際特許分類	H01L 21/288,H01L 29/786,H01L 21/336,H01L 21/28,H01L 21/3065
発明名称	導電性材料、固体電子装置、及びエッチングマスク材料、並びに導電性材料の製造方法及びエッチングマスク材料の製造方法
出願人又は権利者	JAIST
研究者
研究分野	材料デバイス
用途	電子材料
要約 課題	極めて微細なパターン形成の実現と、優れた電気特性（低抵抗率）の実現とを両立させる導電性材料を提供する。
要約 解決手段	本発明の１つの導電性材料２０は、ランタノイド（Ｌｎ）及びＹ（イットリウム）の群から選択される少なくとも１種の元素と、ルテニウム（Ｒｕ）とを含有する、不可避不純物を含み得る導電性材料である。加えて、導電性材料２０は、前述のルテニウム（Ｒｕ）の原子数を１としたときに、前述の元素の原子数が０．２以上０．５未満であり、かつそのルテニウム（Ｒｕ）の原子数を１としたときに、酸素の原子数が０超０．７５未満である。
問い合わせ先	JAIST 産学官連携推進センター 0761-51-1070
更新日	2017/12/01