特許詳細
出願番号 | 2014-213211 |
登録番号 | 5842242 |
国際特許分類 | G01N 23/205 |
発明名称 | 回折環分析方法および回折環分析装置 |
出願人又は権利者 | 金沢大学 |
研究者 | |
研究分野 | 計測 |
用途 | 測定・計測 |
要約 課題 | 回折環に欠落がある場合であっても回折環を分析しかつ精度を向上させる回折環分析方法を提供する。 |
要約 解決手段 | 回折する性質をもつビームを計測対象物の特定部分に照射し、この特定部分から反射される回折ビームにより形成される回折環の中心角αをパラメーターとするひずみを測定し(S21、S22)、この測定結果をフーリエ変換し(S23)、このフーリエ変換の結果から、前記特定部分の応力又はひずみの少なくとも一方を算出する(S24)。 |
問い合わせ先 |
金沢大学 先端科学・イノベーション推進機構 076-264-6111 |
更新日 | 2017/12/01 |