特許詳細
出願番号 | 2013-155692 |
登録番号 | 6128554 |
国際特許分類 | C03C 19/00,G01N 33/68 |
発明名称 | 脂質平面膜を形成するための貫通孔を有するガラス基板、およびその製造方法と用途 |
出願人又は権利者 | 福井大学 |
研究者 | 老木 成稔 |
研究分野 | 計測材料 |
用途 | 測定・計測 材料 |
要約 課題 | 長時間安定で、高電位負荷に対する高い耐性を有し、かつ小面積の脂質平面膜を誰にでも確実に形成できる脂質平面膜形成用のガラス基板を提供する。 |
要約 解決手段 | ガラス基板1の一方の主面1aに、該面を覆う耐ブラスト性のレジスト層2を設け、該レジスト層2には、ガラス基板素材に形成すべき貫通孔1hの位置に開口部2hが設けられ、ガラス基板1に対して、レジスト層2の上から投射材を吹き付けるショットブラストを行い、該ガラス基板1に対して該レジスト層2の開口部2hの位置に脂質平面膜形成用の貫通孔1hを形成し、かつ好ましくはショットブラスト工程よりも後に、該貫通孔1hの開口の周囲に対して高電圧パルス放電処理を施し、それにより、ショットブラストに起因して該貫通孔の開口の周囲に生じていたバリを除去し、バリを除去する工程よりも後に、ガラス基板1の該貫通孔1hの開口の周囲を疎水性材料で被覆する。 |
問い合わせ先 |
福井大学 産学官連携本部 0776-27-8956 |
更新日 | 2017/12/01 |