特許詳細

出願番号	2008-121512
登録番号	5360528
国際特許分類	H01L 21/28,H01B 13/00,B82B 3/00,
発明名称	ギャップで分断された薄膜の製造方法、およびこれを用いたデバイスの製造方法
出願人又は権利者	JAIST
研究者
研究分野	製造デバイス
用途	製造技術 デバイス装置
要約 課題	幅が１μｍ未満であるギャップ（ナノギャップ）を有する薄膜の新たな製造方法を提供する。
要約 解決手段	基材１上に配置した径が１μｍ未満であるファイバー（ナノファイバー）２の上およびこのファイバー２に隣接する基材１の表面上に薄膜を構成する材料３を堆積させ、ファイバー２をこの上に堆積した薄膜材料３とともに除去し、ナノギャップ５を形成する。ファイバー２は、エレクトロスピニング法により予め作製したものを用いるとよい。具体的には、離間して配置された２つのコレクタの間を掛け渡すように原ファイバーを作製し、２つのコレクタの間の距離を広げることにより原ファイバーを延伸するとともに細径化すれば、径が均一化されたナノファイバーを得ることができる。
問い合わせ先	JAIST 産学官連携推進センター 0761-51-1070
更新日	2017/12/01