特許詳細
| 出願番号 | 2006-348834 |
| 登録番号 | 4918679 |
| 国際特許分類 | G01B 11/06,B05D 1/36,B05D 5/06,B05C 11/00 |
| 発明名称 | 透明層の厚さ測定方法及び測定装置 |
| 出願人又は権利者 | 金沢大学 |
| 研究者 | |
| 研究分野 | 計測 |
| 用途 | 測定・計測 製造技術 |
| 要約 課題 | 光の干渉現象によらずに、膜厚を測定する方法及び装置を提供すること。 |
| 要約 解決手段 | 反射が少ない透明層１と、透明層１との境界面において反射する不透明層３とが積層され、透明層１の表面に向けてレーザ光を照射し、表面での第１の反射光２Ｘと、境界面での第２の反射光３Ｘとから透明層１の厚みを計測する。 |
| 問い合わせ先 |
金沢大学 先端科学・イノベーション推進機構 076-264-6111 
|
| 更新日 | 2017/12/01 |