特許詳細

出願番号	2006-262739
登録番号	4085168
国際特許分類	G01N 13/16,G12B 21/02,B82B 1/00,
発明名称	微小カンチレバー及びその製造方法
出願人又は権利者	JAIST
研究者
研究分野	計測
用途	走査プローブ
要約 課題	均一性に優れ、構造上、作製上の制約が少ない微小カンチレバー及びその製造方法を提供する。
要約 解決手段	ビームまたはチップの少なくとも一方を備えたプローブ２と、当該プローブ２を支持する台座４とから構成される微小カンチレバーである。互いに格子定数の異なる犠牲層６と歪層７とが少なくとも１層ずつ積層されてなる半導体歪多層構造基板において、犠牲層６と歪層７とがフォトリソ技術によってパターニングされるとともに、犠牲層６が選択的エッチングによりエッチング除去され、残存する歪層６が変位することによりビームまたはチップが形成されている。
問い合わせ先	JAIST 産学官連携推進センター 0761-51-1070
更新日	2017/12/01