しらさぎプロジェクト大学開放特許データベース(単願&発明者検索)

特許詳細
出願番号 2006-219881
登録番号 4843789
国際特許分類 G01B 11/00,
発明名称 レーザスペックルによるナノメートル変位測定方法と装置
出願人又は権利者 富山大学
研究者 田代 発造 
研究分野 計測製造
用途 測定・計測
製造技術
要約 課題 簡単な光学系及び装置により、測定精度が高く処理も容易なレーザスペックルによるナノメートル変位測定方法と装置を提供する。
要約 解決手段 半導体レーザ12と、半導体レーザ12からの光を1点に収束させるレンズ14と、半導体レーザ12からのレーザ光を分岐するビームスプリッタ16と、ビームスプリッタ16から分岐した一方のレーザ光が照射される参照粗面18と、半導体レーザ12からのレーザ光の他方が照射される測定粗面20を有する。参照粗面18と測定粗面20とから反射した各レーザ光がビームスプリッタ16を介して重なり、スペックル干渉した光を受光する光センサ22を備える。スペックル干渉光の入射による光センサ22の出力の最大値と最小値の間で、ほぼ直線的に出力値が変化する電圧範囲を測定範囲として、光センサ22の出力電圧の変化により測定粗面20の変位を求めるコンピュータ26を備える。
問い合わせ先 富山大学
研究推進機構 学術研究・産学連携本部
076-445-6392
富山大学研究推進機構 学術研究・産学連携本部
更新日 2017/12/01