特許詳細

出願番号	2006-219881
登録番号	4843789
国際特許分類	G01B 11/00,
発明名称	レーザスペックルによるナノメートル変位測定方法と装置
出願人又は権利者	富山大学
研究者	田代 発造
研究分野	計測製造
用途	測定・計測 製造技術
要約 課題	簡単な光学系及び装置により、測定精度が高く処理も容易なレーザスペックルによるナノメートル変位測定方法と装置を提供する。
要約 解決手段	半導体レーザ１２と、半導体レーザ１２からの光を１点に収束させるレンズ１４と、半導体レーザ１２からのレーザ光を分岐するビームスプリッタ１６と、ビームスプリッタ１６から分岐した一方のレーザ光が照射される参照粗面１８と、半導体レーザ１２からのレーザ光の他方が照射される測定粗面２０を有する。参照粗面１８と測定粗面２０とから反射した各レーザ光がビームスプリッタ１６を介して重なり、スペックル干渉した光を受光する光センサ２２を備える。スペックル干渉光の入射による光センサ２２の出力の最大値と最小値の間で、ほぼ直線的に出力値が変化する電圧範囲を測定範囲として、光センサ２２の出力電圧の変化により測定粗面２０の変位を求めるコンピュータ２６を備える。
問い合わせ先	富山大学 研究推進機構　学術研究・産学連携本部 076-445-6392
更新日	2017/12/01