特許詳細

出願番号	特願2000-217532
登録番号	4576520
国際特許分類	G01Q 60/26,G01Q 80/00,G01B 21/30,
発明名称	試料表面の電子エネルギ準位の測定方法
出願人又は権利者	JAIST
研究者
研究分野	計測
用途	走査プローブ
要約 課題	試料表面に存在する１つ１つの原子または分子に局在する化学結合に関する電子のエネルギを測定する。
要約 解決手段	原子間力顕微鏡３を準備し、探針６が先端に形成されたカンチレバー４を基体４ａに、取付けてカンチレバー組合せ体８を構成し、振動部材７を駆動してカンチレバー４の固有振動数で発振し、振動周波数の固有振動数からの周波数変化Δｆに対応する電圧を周波数変化検出器１９によって検出する。この電圧は、探針６と試料１との間に働く化学結合力による引力に関係する。探針６と試料１との間の距離を、約１ｎｍ以下に一定に保ったままの状態で、探針と試料との間に、電源回路２６によって直流電圧Ｖを連続的に変化して印加する。探針６と試料１との間に作用する引力のピーク３１に対応する印加電圧Ｖ１を検出する。
問い合わせ先	JAIST 産学官連携推進センター 0761-51-1070
更新日	2017/12/01